石英砂介紹我首條石英玻璃基板成套生產(chǎn)線建成

* 接口名稱 : * 作者 : admin * 發(fā)表時間 : 2020-03-14 21:47:17 * 瀏覽 : 3117

近日從中國建筑材料科學研究總院(以下簡稱建材總院)獲悉,基于光刻用石英玻璃基板(以下簡稱石英玻璃基板)綠色制造技術(shù),建材總院石英院在衢州建立了國內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線,該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4—6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進口的局面。


該生產(chǎn)線的建立,是建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。
  石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件,市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料,合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好、光學均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點。然而,受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約,我國石英玻璃基板長期依賴進口。

作為我國唯一專業(yè)從事石英玻璃研究的科研院所,建材總院石英院科研人員經(jīng)不懈努力,形成一套符合我國行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢的獨有工藝路線,不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題,同時實現(xiàn)了原材料綠色制造;引入多刀切割、安全快速磨拋工藝,創(chuàng)造性地開發(fā)了熔拉制坯、數(shù)控倒角等技術(shù),解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產(chǎn)品加工,該院形成專利20余項,行業(yè)標準、國軍標及國家標準10余項,開發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產(chǎn)品,不僅逐步替代進口,而且出口歐洲、日本等國。